Osnovne ideje in tehnični pristopi k elektrostatični zaščiti
Elektrostatična razelektritev lahko povzroči škodo na napravi, vendar z ustreznimi in ustreznimi ESD zaščitnimi in nadzornimi ukrepi za vzpostavitev ESD sistema je mogoče ESD odpraviti ali nadzorovati, da se zmanjšajo poškodbe komponent. Obstajata dve osnovni ideji za elektrostatično zaščito in nadzor občutljivih naprav:
1. (1) Preprečiti kopičenje statične elektrike na mestih, kjer lahko pride do ozemljitve, in sprejeti nekatere ukrepe, da bi se izognili ali zmanjšali pojav elektrostatične razelektritve ali sprejeli metodo "puščanja med ustvarjanjem strani", da se odpravi kopičenje električnega naboja. . Strošek je nadzorovan do te mere, da ne povzroča škode.
1. (2) Hitro in zanesljivo akumulirajte akumulirani naboj.
2.1 Metoda nadzora procesa
Izdelani so tako, da proizvajajo čim manj statičnega naboja med proizvodnim procesom. V ta namen so sprejeti ukrepi z vidika pretoka procesov, izbire materialov, namestitve opreme in upravljanja obratovanja za nadzor proizvodnje in kopičenja statične elektrike ter za preprečevanje elektrostatičnega potenciala in zmožnosti elektrostatičnega praznjenja, da ne presežejo stopnje. poškodbe. Kot v postopku izdelave polprevodnikov je treba upornost deionizirane vode za izpiranje nadzorovati po zaključku procesa oblikovanja plitvega spoja naprave za visoke hitrosti. Čeprav je višja upornost, boljši je učinek čiščenja, vendar je višja upornost, višja je statična elektrika na čipu. Zato se na splošno nadzoruje na ravni, ki je nekoliko višja od 8 MΩ, in ne more biti 16-17 MΩ za začetni proces. Poleg tega je treba pri izbiri materialov embalažni material uporabljati antistatične materiale, da bi se izognili neobdelanim polimernim materialom.
2.2 Metoda puščanja
Namenjen je odpravljanju statične elektrike zaradi puščanja. Običajno je elektrostatična ozemljitev puščanje električnega naboja v zemljo; obstaja tudi metoda za povečanje električne prevodnosti predmeta, da povzroči puščanje tal vzdolž površine ali znotraj predmeta, kot je dodajanje elektrostatičnega sredstva ali povečanje vlažnosti. Najpogostejši je antistatični trak za zapestje, ki ga nosijo osebje in statično ozemljitveno mesto.
2.3 Metoda elektrostatične zaščite
V skladu z načelom elektrostatične zaščite ga lahko razdelimo na dve vrsti: notranjo zaščito polja in zunanjo zaščito. Poseben ukrep je izolirati napolnjeno telo od drugih predmetov z ozemljenim pokrovom zaslona, tako da električno polje napolnjenega telesa ne bo vplivalo na druge okoliške predmete (zaščita znotraj polja); včasih se oklopljeni pokrov obdaja izoliranemu predmetu, tako da je zaščiten pred zunanjimi električnimi polji (zaščita od zunaj). Na primer, paket naprave GaAs uporablja kovinski kovček ali kovinsko folijo.
2.4 Metoda sestavljene nevtralizacije
Njegov namen je odpraviti statični naboj s kompleksno nevtralizacijo. Uporaba eliminatorja za ozemljitev za izdelavo kompleksa z naelektrenim ionom na napolnjenem telesu za doseganje nevtralizacije. Na splošno velja, da ko je napolnjeno telo izolator, ker električni naboj ne more teči na izolatorju, se metoda ozemljitve ne more uporabiti za uhajanje električnega naboja. V tem primeru je treba uporabiti antistatični eliminator, da se ustvari različen ion za nevtralizacijo. Ta metoda se uporablja za odpravo elektrostatičnega naboja, ki nastane na tekočem traku.
2.5 Čisti ukrepi
Zasnovana tako, da se izogiba prekinitvam. V ta namen je treba površino napolnjenega telesa in okoliških predmetov vzdrževati čim bolj gladko in čisto, da se zmanjša možnost prekinitve.