Elektrostatična zaščita v proizvodnji polprevodnikov
V proizvodnem procesu polprevodnikov sta potrebna preprečevanje in nadzor statične elektrike. Če se prepreči in ne prepreči statična elektrika, se pojavijo težave, kot so onesnaženje z delci, poškodbe polprevodnikov zaradi elektrostatičnega praznjenja in izklop povezane opreme. Program preprečevanja in nadzora statične elektrike v proizvodnem procesu polprevodnikov vključuje: ozemljitev, statične disipativne materiale in ione za ionizacijsko nevtralizacijo zraka. Da bi izpolnili zahteve, ki jih prinaša hiter razvoj polprevodniške industrije, se nenehno spreminjajo tudi statični disipativni materiali in ionizatorji zraka.
Nujnost statičnega nadzora pri proizvodnji polprevodnikov
Na področju proizvodnje polprevodnikov je nemogoče popolnoma odpraviti negativne učinke statične elektrike. Tudi s statično zaščito je težko vzdrževati visoko raven kakovosti in donosa izdelka. Če pa primanjkuje statičnega nadzora, onesnaženja z delci, poškodb zaradi elektrostatičnega praznjenja in okvare opreme, so te težave pri izdelavi silicijevih podlag in fotomask, v čisti sobi pred polprevodnikom in v nadaljnjih procesih, vključno z montažo, pakiranjem in končno testiranje in pošiljanje. To se lahko zgodi kadar koli in resno vpliva na kakovost polprevodniških izdelkov.
Metoda statičnega krmiljenja polprevodnikov
V proizvodnem okolju polprevodnikov, bodisi v sprednji čisti sobi ali v zadnjem preskusu, montaži in pakiranju, je treba uporabiti ozemljitev vodnikov in statične disipativne materiale. Ozemljitev preprečuje nastajanje statične elektrike na izoliranih vodnikih in statičnih disipativnih materialih. Če ti materiali nosijo statično elektriko, lahko odvzamejo tudi statično elektriko. Vsak prevodni material, vključno z osebjem, opremo, tovarniškimi površinami (tlemi, stenami, stropi in delovnimi površinami) in izdelki, mora imeti zanesljivo ozemljitev. Te ozemljitvene terminale je treba redno preverjati. Nekateri neutemeljeni vodniki so običajno viri statičnega praznjenja.
Statični disipativni materiali razpršijo statične naboje, hkrati pa ohranijo lastnosti nekaterih izolacijskih materialov (na primer prožnost in kemična odpornost). Če so zanesljivo ozemljeni, ne bodo obdržali statičnega naboja. V nekaterih aplikacijah (kot so namizni računalniki ali preizkusne vtičnice) lahko ti materiali nadomestijo prevodniške materiale. Pri teh aplikacijah lahko pridejo v stik z elektrostatično nabitimi izdelki. Visoka odpornost statičnih disipativnih materialov (običajno v območju od 10 ^ 4 do 10 ^ 11 ohmov) lahko upočasni postopek gibanja naboja in tako prepreči poškodbe zaradi elektrostatičnega praznjenja. Statične disipativne materiale je treba redno pregledovati in preizkušati. Mnogi od teh materialov niso združljivi s čistimi prostori, statične razpršitvene lastnosti pa se bodo sčasoma spremenile, zato jih je treba pravilno uporabiti pri njihovi uporabi.