Statični nadzor čistega prostora
1. Osnovna načela statičnega nadzora
(1) Določite stopnjo statičnega nadzora (2) Zmanjšajte ustvarjanje statičnega naboja (3) in nevtralizirate, da pospešite disipacijo statičnega naboja in preprečite statično kopičenje (4) zaščititi izdelke pred poškodbami ESD
2. Določite raven statičnega nadzora
(1) Razvrstitev statične občutljivosti komponent, sklopov in opreme
1. stopnja: dovzetna za 0-1999 v statična napetost
2. stopnja: dovzetna za 2000-3999 v statična napetost
3. stopnja: dovzetna za 4000-5999 V statična napetost Če je občutljiva statična napetost večja od 16000V, ni potreben protistatični ukrepi .
(2) Razvrstitev delovnih območij za elektrostatično zaščito
Razred A: Elektrostatični potencial za tla je dovoljen, da ne bo več kot ± 100V
Razred B: Elektrostatični potencial za tla je dovoljen, da ne sme biti več kot ± 1000V . V dejanskem inženiringu obstajajo tri ravni elektrostatičnega potenciala, ki se ne več kot 100V, 500V, 1000V itd.
3. Zmanjšajte generiranje statične električne energije
To je prvi korak v tristopenjskem postopku nadzora statične električne energije . v tem prečiščenem delovnem okolju so najboljši ukrepi:
(1) poskusite uporabiti opremo s podobnimi lastnostmi, da zmanjšate nastajanje statične električne energije med postopkom stika, trenja in ločevanja;
(2) poskusite uporabiti opremo z elektrostatičnimi prevodnimi ali elektrostatičnimi disipativnimi materiali, da zmanjšate kopičenje statične električne energije med postopkom stika, trenja in ločevanja;
(3) Poskusite uporabiti proizvodne procese, ki zmanjšujejo ustvarjanje statične električne energije zaradi stika, trenja in ločevanja .
4. odvajanje in nevtralizacija
To je drugi korak v tristopenjskem postopku nadzora statične električne energije . Najpogostejši ukrepi v čisti sobi proizvodnje mikroelektronike so ozemljeni, pri čemer uporabljajo prevodne ali disipativne materiale za izpustitev statične električne energije in ionizacijo eliminatorjev za nevtralizacijo statične električne energije .
(1) Ozemljitev čiste sobe bi morala imeti neodvisen elektrostatični ozemljitveni sistem (vključno z ozemljitvenim ozemljitvenim sistemom kovinskih mrež in sistemom ozemljitve delovne postaje proizvodnje), tako da lahko vsa kovinska ohišja opreme v sobi, kovinski nosilci mobilne opreme, antistatična oprema itd. Izpuščeni na tla skozi antistatično dno skozi antistatične čevlje ali trakove za pete . tle, stene, stropi, predelne stene itd. ozemljitev .
(2) Ionized electrical appliances There are always some insulated conductors and insulating dielectric materials (such as most ordinary plastics) that cannot be grounded on the components, PCBs, production lines, and workstations produced and assembled in the clean room. In some environments, ionized electrical appliances are often used to locally dissipate the static charges on these objects, and more often, air Ionizacija se uporablja za nevtralizacijo statičnih nabojev na izolacijskem mediju in izoliranih vodnikih .
(3) prevodni in disipativni materiali
Prevodni in disipativni materiali so tudi dobri materiali za izpustitev statične električne energije zaradi svoje prevodnosti . so tudi varnejši od kovinskih prevodnikov . Običajno se uporabljajo kot antistatična oprema, kot so tla, stene, delovne vretene, prometne zabojnike, tweezers in čopiče..
5. Preprečite ESD
Protecting products is the last step in the three-step process of controlling static electricity. In the clean room of microelectronics production, in order to prevent ESD from occurring on static-sensitive components or assemblies, and PCBs, one method is to provide appropriate grounding or shunts for components and assemblies to "dissipate" the static electricity on the products; Druga metoda je uporaba ustreznih metod in materialov embalaže za ravnanje z embalažo in prevozom statično občutljivih naprav . Ta materiala lahko učinkovito zaščitijo naboj pred napadom na izdelek in zmanjšajo statično elektriko, ki jo ustvari izdelek v embalažnem polju {{5}. Oprema . Če napetost, dovoljena na območju EPA, doseže 25V, se bojim, da bo morala naša obstoječa antistatična oprema, oprema, orodja in inženiring skozi veliko trdega dela .