Statični nadzor čiste sobe
(1) Osnovna načela statične kontrole
1 Določite stopnjo statične kontrole
2 Zmanjšajte nastajanje statičnega naboja
3 Metode odzračevanja in nevtralizacije pospešujejo odvajanje statičnega naboja in preprečujejo nabiranje statične elektrike
4 Izdelek zaščitite pred poškodbami ESD
(2) Določite stopnjo statične kontrole
1 Elektrostatična občutljivost komponent, komponent in opreme
Raven 1: dovzetna za elektrostatično napetost 0-1999V
Raven 2: dovzetna za poškodbe pri elektrostatični napetosti 2000-3999V
Raven 3: dovzetna za poškodbe zaradi elektrostatične napetosti 4000-5999V
Če je občutljiva statična napetost večja od 16000V, ni treba izvajati protistatičnih ukrepov.
2 Razvrstitev delovnega območja za elektrostatično zaščito
Razred A: Pustite, da elektrostatični potencial tal ne presega ± 100 V
Razred B: Elektrostatični potencial na tla naj ne preseže ± 1000V
Pri dejanskem inženirstvu elektrostatični potencial ni večji od 100V, 500V, 1000V in drugih komponent, komponent in opreme, statična občutljivost napetosti 3.
(3) Zmanjšanje nastajanja statičnega naboja
To je prvi korak pri nadzoru statične elektrike v treh korakih. V tem čistem delovnem okolju so najboljši ukrepi:
1 Poskusite uporabiti podobno opremo za zmanjšanje elektrostatičnega naboja, ki nastane med procesom ločevanja kontaktnega trenja;
2. Poskusite uporabiti opremo, ki prevaja statično elektriko ali statične disipativne materiale, da zmanjšate nabrani statični naboj, ki ga povzroča proces ločevanja kontaktnega trenja;
3 Poskusite zmanjšati proizvodni proces z zmanjšanjem trenja v stiku in ustvarjanjem statičnega naboja.
(4) Sprostitev in nevtralizacija
To je drugi korak pri nadzoru triode statične elektrike. Najpogostejši ukrep v čisti sobi proizvodnje mikroelektronike je ozemljitev, odvajanje statičnega naboja po prevodnih ali disipativnih materialih in statični naboj v ioniziranih porabnikih.
1 tla
Čista soba mora biti opremljena z neodvisnim elektrostatičnim ozemljitvenim sistemom, vključno s sistemom za podporo kovinske mreže na tleh in sistemom za podporo tlem na delovnem mestu (stopnji) proizvodne linije. Tako, da je kovinsko ohišje vse opreme v prostoru, kovinski nosilec mobilne opreme, antistatična oprema itd. Varno in učinkovito izprazniti statični naboj na zemljo, in elektrifikacija delavca je ozemljena skozi zapestni trak, \ t antistatični čevlji ali pete pa so antistatični. Tla se odvajajo v zemljo. Tla, stena, strop, pregrada itd. So trdno ozemljeni, ohišje opreme, mobilna oprema (avto, stol, polica, itd.), Delovna miza itd. So mehka.
2 ionizacija električni
Neizogibno je, da bo nekaj izoliranih prevodnikov, ki jih ni mogoče ozemljiti v komponentah, tiskanih vezjih, proizvodnih linijah in delovnih postajah v čisti sobi. V nekaterih okoljih se pogosto uporabljajo izolacijski dielektrični materiali (kot je najpogostejša plastika). Lokalno razprševanje statičnega naboja na teh objektih in pogosteje z ionizacijo zraka za nevtralizacijo elektrostatičnega naboja na izolacijskem mediju in izoliranem vodniku.
3 prevodni statični in statični disipativni materiali
Vodljivi materiali in statični disipativni materiali so zaradi svoje elektrostatične prevodnosti tudi dobri statični nabojni materiali in so varnejši od kovinskih vodnikov. Običajno se uporabljajo kot tla, stene, delovne mize in kontejnerji. Antistatična oprema, kot so pincete in ščetke.
(5) Zaščita pred ESD, zaščita izdelkov
To je zadnji korak v tristopenjski kontroli statične elektrike. V čisti sobi proizvodnje mikroelektronike, da bi preprečili pojav ESD na elektrostatično občutljivih komponentah ali komponentah, PCB-jih, je ena metoda zagotoviti ustrezno ozemljitev komponent in komponent. Šant je "razpršiti" statični naboj, ki je prisoten na izdelku; druga metoda je pakiranje in transport elektrostatično občutljive naprave z ustreznimi metodami in materiali za pakiranje. Ti materiali učinkovito ščitijo naboj pred vdorom v izdelek in zmanjšujejo gibanje izdelka v embalaži, da se ustvari elektrostatični naboj.
Na mednarodni ravni se hitro razvijajo polprevodniki, ploski zasloni s tekočimi kristali, optoelektronika, integracija pa postaja vse višja. Pojavilo se je 8 "12" čipov, premeri čipov so postali tanjši in tanjši, antistatične zahteve pa so postajale vse višje, glej tabelo 4.
Združenje ESD Združenih držav Amerike je začelo pregledovati elektrostatično razelektritveno jeklo ANS ESD S20.20-1999 in naredilo nekaj sprememb klasifikacije SSD elektrostatične občutljivosti, glej tabele 5, 6 in 7.
To uporabniku komponente daje opozorilo, da se lahko zahtevajo okoljski nadzorni pogoji, ne glede na to, ali se oseba ali oprema izdeluje. Če dopustna napetost v območju EPA doseže 25V, se bojim, da bo naša obstoječa antistatična oprema, oprema, orodja in inženiring težko delovali.